型號：HARTS-8

四探針測試儀四探針檢測儀四探針測定儀/四探針電阻率測定儀

描述：四探針測試儀四探針檢測儀四探針測定儀/四探針電阻率測定儀型號：HARTS-8

HARTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時間
2024-04-15
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四探針測試儀四探針檢測儀四探針測定儀/四探針電阻率測定儀型號：HARTS-8

HARTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

　術(shù)　　標：

測量范圍電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴展）；
方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴展）；
電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm；
電阻：10-4～105 Ω；

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；
400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；
恒源電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示；
四探針探頭基本標間距：1±0.01mm；
針間緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對誤差
（按JJG508-87行） 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差（用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊接口并口
標準使用環(huán)境溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無頻干擾；
無強光直射；

配置四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭、