在半導(dǎo)體材料研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)節(jié),電阻率與方塊電阻是衡量材料電學(xué)性能的核心指標(biāo),檢測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性直接影響器件成品質(zhì)量與研發(fā)進(jìn)度。一款符合標(biāo)準(zhǔn)、性能穩(wěn)定的四探針檢測(cè)設(shè)備,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游及科研端不可少的基礎(chǔ)檢測(cè)工具。
北京恒奧德推出的 GSZ-RTS-4 型數(shù)字式四探針測(cè)試儀,正是基于四探針測(cè)量原理打造的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該設(shè)備嚴(yán)格遵循單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì),可用于半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專業(yè)檢測(cè),也是 SDY-4 型號(hào)的替代方案,適配行業(yè)既有使用習(xí)慣的同時(shí)完成了性能升級(jí)。

從適用場(chǎng)景來看,這款四探針測(cè)試儀覆蓋了半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠的生產(chǎn)質(zhì)檢環(huán)節(jié),也能滿足科研單位、高等院校的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試需求,是兼具生產(chǎn)實(shí)用性與科研精度的檢測(cè)設(shè)備。設(shè)備整體由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)四部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可以通過主機(jī)直接讀取顯示,也可由計(jì)算機(jī)控制完成測(cè)試采集,將數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)后完成深度分析,最終以表格、圖形的方式完成統(tǒng)計(jì)分析與結(jié)果展示,兼顧現(xiàn)場(chǎng)快速讀數(shù)與精細(xì)化數(shù)據(jù)處理兩類需求。
在硬件性能層面,GSZ-RTS-4 型四探針測(cè)試儀采用了成熟的電子線路設(shè)計(jì)與裝配工藝,具備功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好的特點(diǎn),同時(shí)設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、操作門檻低,一線檢測(cè)人員無需復(fù)雜培訓(xùn)即可上手使用。
配套的 GSZ-RTS-4 型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng),是運(yùn)行在計(jì)算機(jī)端的可視化測(cè)試程序,擁有友好的操作界面。通過該程序,用戶可便捷完成各項(xiàng)測(cè)試操作,自動(dòng)采集測(cè)試數(shù)據(jù)并開展統(tǒng)計(jì)分析;所有測(cè)試數(shù)據(jù)都能以表格、圖形的形式直觀記錄與顯示,支持本地保存與打印輸出,還可將數(shù)據(jù)導(dǎo)出至 Excel 格式,方便用戶開展后續(xù)的自定義數(shù)據(jù)分析與歸檔管理。
作為生產(chǎn)廠家自主推出的檢測(cè)設(shè)備,恒奧德 GSZ-RTS-4 四探針測(cè)試儀從標(biāo)準(zhǔn)適配、硬件性能到數(shù)據(jù)管理能力,均圍繞半導(dǎo)體材料電阻性能檢測(cè)的實(shí)際需求設(shè)計(jì),能夠?yàn)椴煌瑘?chǎng)景的檢測(cè)工作提供穩(wěn)定、精準(zhǔn)的技術(shù)支撐。